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碳化硅悬臂桨

碳化硅悬臂浆,碳化硅扩散桨,设计特点:1、在高温环境下不变形,晶片装载力大;2、耐极冷急热,使用平台长;3、悬臂浆热膨胀系数极小,极大地延长了维护清洗的周期;并大幅减少污染物。应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用,是半导体晶圆装载系统的关键部件。常规尺寸有2378毫米,2550毫米,2660毫米等。

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