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碳化硅陶瓷晶舟


西安中威(ZHWE)®系列碳化硅陶瓷晶舟,SIC晶舟,陶瓷晶舟纯度>99.675%使用平台长>5年主要应用于太阳能、半导体扩散制程。具有平台损、耐腐蚀、耐高温冲击,耐电浆轰击、高温承载力大、高导热、高散热、长期使用不易弯曲变形,特点。


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